浙江光学镀膜射频离子源源头实力厂家

    且多个叶片2的尾端22伸入中空结构11围合的区域中以形成可供离子束穿过的光阑3，驱动机构可驱动叶片2的尾端22相对叶片排布形成的圆周的中心运动，从而使得叶片2围合形成的光阑3的大小得以调节，即对离子束的束径进行调节。作为一种推荐实施例，叶片2的首端21与底座1的对应端面转动连接，叶片2的尾端22沿叶片2排布形成的圆周周向依次叠放并斜向伸入中空结构11所在区域以形成光阑3，驱动机构包括滑环41及驱动滑环41绕滑环41中心旋转的驱动组件，滑环41位于多个叶片2的远离底座1的一侧并与多个叶片2排布形成的圆周同轴设置，滑环41旋转时带动叶片2的尾端22绕叶片2的首端21转动以实现光阑3大小调节，也即滑环41旋转时，由于叶片2的首端21与底座1一端端面转动连接，叶片2的首端21相对叶片2围合形成的圆周的中心距离不会变化，而叶片2的尾端22则会相对于叶片2排布形成的圆周的中心进行运动，从而使叶片2的尾端22相交围合形成的光阑3大小变化。并且为了使光阑3的形状更趋近于圆形，叶片2具有朝向叶片2排布形成的圆周的圆弧方向同向弯曲的圆弧形状，同时，当叶片2的数量越多时，光阑3的形状更趋近于圆形。具体而言，底座1的对应端的端面上设有多个呈圆周布置的定位孔12。真空镀膜机的培训资料。浙江光学镀膜射频离子源源头实力厂家

【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前，要注意检漏。方法：启动维持泵，关好da门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。贵州射频离子源真空镀膜机该如何维修。

【真空镀膜的分类】真空镀膜的镀层结构一般为：基材、底漆、真空膜层、面漆，因靶材理化特性直接决定膜层的特性，根据膜层的导电与否，可分为导电真空镀膜（VM）和不导电真空镀膜（NCVM）两种。VM：一般用在化妆品类、NB类、3C类、汽配类按键、装饰框、按键RING类饰品的表面处理，其表面效果与水电镀相媲美，靶材一般为铝、铜、锡、金、银等。NCVM：具有金属质感、透明，但不导电，一般用在通讯类、3C类对抗扰要较高的机壳、装饰框、按键件、RING类饰品的表面处理，其表面效果为水电镀不可取代，靶材一般为铟、铟锡。三、扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。首先启动维持泵，关好da门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到标准，否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。

【真空镀膜真空的基本概念】：真空的划分：粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr极高真空

    本发明的优点在于：本申请的束径约束器通过驱动组件驱动滑环旋转，以使叶片转动来进行光阑的大小调节，调节方便且调节精度高；而采用包含该束径约束器的束径控制装置进行束径调节时，通过在控制器上输入离子束束径值即可实现光阑大小的调节，无需关闭离子源和打开真空腔体，调节效率高、自动化程度好。附图说明图1为现有技术中采用曲面栅网调节束径的结构示意图。图2为本申请中离子束采用平面栅网的结构示意图。图3为本申请中束径约束器结构示意图。图4为图3的示意图。图5为为图4的进一步示意图。图6为本申请中的叶片结构示意图。图7为本申请中的束径控制装置的示意图。具体实施方式下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，*用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图3至6所示为本申请的束径约束器的结构示意图，如图所示，该射频离子源离子束束径约束器，包括底座1、多个叶片2及驱动机构，底座1上设置有可供离子束穿过的中空结构11，多个叶片2设于底座1一端并环绕底座1的中空结构11呈圆周排布。真空镀膜机真空四个阶段。甘肃射频离子源厂家

真空镀膜机机组是怎样的？浙江光学镀膜射频离子源源头实力厂家

【真空镀膜机之辅助抽气系统】真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三da部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。浙江光学镀膜射频离子源源头实力厂家